產(chǎn)品型號(hào)
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產(chǎn)品分類(lèi)
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Nikon EX14C
1.Nikon EX14C步進(jìn)式光刻機(jī)
光源波長(zhǎng)248nm
分辨率優(yōu)于0.25µm
主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生產(chǎn)線
廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體、MEMS、LED等領(lǐng)域
2.產(chǎn)品詳情
主要技術(shù)指標(biāo)
分辨率0.25µm
N.A.0.6
曝光光源248nm
倍率5:1
曝光現(xiàn)場(chǎng)22mm*22mm
對(duì)準(zhǔn)精度
LSA：55nm
FIA：65nm
3.更多服務(wù)
提供中英文軟件及2"、4"、6"、8"設(shè)備硅片改造
常年提供所有備件、耗材
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